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微机械技术及硅材料在钟表制造中的应用

更新时间:2015-11-23

【摘要】文章列举了钟表擒纵调速机构零部件的传统生产工艺技术特点,介绍了应用MEMS(Micro Electromechanical System)微电子机械系统技术,对单晶硅材料进行微机械加工的工艺方法。由于MEMS技术自身的优势,有效地提高了零件的加工精度。研制出的硅擒纵叉与擒纵轮装入手表机芯后,有效降低了偏振,提高了走时精度。

【关键词】

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